等离子线

等离子体线-可伸缩等离子


       双等离子体是一种不需要磁场的直接微波等离子体源。简单地说,它的工作原理就像被微波激发的反向发光管。典型的双质体是在低压下工作,大约从1000pa到10pa。

       由两个磁控管产生的频率为2.45 GHz的微波被送入两端的等离子线。放电在外低压区点燃,随着微波功率的增加,等离子体沿管道两端生长,形成轴向均匀的等离子体。

       这种双等离子体的组合可用于获得二维等离子体阵列。单源及2、4、8平行排列的等离子体可用于表面活化、刻蚀、沉积等等离子体辅助表面处理。

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